Rääkisime hiljuti ioonide implanteerimisest, näiteks:
Miks ioonide implanteerimine?
Miks peate ioonide süstimisel teatud nurga alt kõrvale kalduma?
Selle tehnoloogia rakendamine põhjustab aga räni vahvlite kristallstruktuuri kahjustusi. See kahjustus tuleneb aatomitaseme kokkupõrkest, mille põhjustavad kõrge energiatarbega ioonid, mis tungivad ränivõre. Kui suure energiatarbega ioonid pommitavad ränimaterjale, häirib nende tohutu kineetiline energia algset aatomseadet, põhjustades võre moonutusi, vabade kohtingute moodustumist ja interstitsiaalsete aatomite kogunemist.
Enne
Need mikrodefektid ei moodusta mitte ainult kanduri liikuvuse vähendamiseks komposiitkeskust, vaid võivad põhjustada ka riba struktuuri moonutusi, mis mõjutavad tõsiselt seadme elektrilist jõudlust.
Ioonide implanteerimise negatiivsete mõjude kõrvaldamiseks on võre kahjustuste parandamisel peamine samm termiline lõõmutamine. Asetades räni vahvlid siirdatud lisanditega konkreetsesse temperatuurikeskkonda termiliseks töötlemiseks, saab võre aatomid ümber korraldada ja taastada järjestatud struktuuri.
Selle protsessi käigus rändavad lisandite aatomid esialgsest lünga positsioonist võre asenduspaika, et taastada võre terviklikkus ja realiseerida lisandite elektrilist aktiveerimist.
Enne
Tavapärane termiline lõõmutamine toimub tavaliselt temperatuurivahemikus 600-1000 kraadi. Kõrge temperatuuriga keskkond tagab aatomi difusiooni jaoks piisava energia, kuid pikaajaline kuumtöötlus võib põhjustada lisandite liigset levikut ja muuta eelnevalt kavandatud dopingu jaotuse profiili.
See puudus on eriti silmapaistev peene nanoskaala protsessis, kus lisandite termiline difusioon võib hõlpsalt läbi viia disaini suuruse piiri ja põhjustada transistori jõudluse kõrvalekaldet.
Traditsioonilise lõõmutamisprotsessi piirangute läbimiseks on tekkinud kiire lõõmutamise tehnoloogia (RTA). See tehnoloogia kasutab kiire kuumutamise ja lühikese töötlemise saavutamiseks suure energiatihedusega soojusallikat, sealhulgas impulsi laseri lõõmutamine, elektronkiire lõõmutamine ja ksenoonlambi välklambi lõõmutamine.
